万级净化工程设计

和其他产业不同，集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成，从单晶硅片制造，到IC制造的几乎所有环节，到IC封装都需要在洁净室中完成，且对于洁净度的要求非常高。如，14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高，对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环，直接决定了终产品的成败。

洁净房装修：天花板：洁净区及生产区域用双层保温（PU）彩钢板，无尘明亮，色灰白，厚50mm。符合电子厂房洁净防静电要求。间隔：洁净区及生?区用双面彩钢保温（PU）板围护及间隔。洁净车间内间隔与地面及无花交角做圆弧及阴角接口，防积尘及易於卫生清洁。密闭门：单扇门：900*2000，上做玻璃观察窗（同间隔墙平窗尺寸），装通道锁，门及门框采用不湫钢制作。地面：防静电规范 A.洁净区水泥地面经处理后做3mm防静电环氧地坪。符合欧洲EN548标准和要求。防火性能符合：DIN4102-1，B1级：抗燃烧性符合ISO06923：难燃：抗静电性＜+/-100V 抗化学性能符合EM423：耐稀酸、油脂、及乙醇、石渍溶剂等。具有不吸尘、不吸灰的特性。柱子：洁净区柱子用彩钢板全包边，并作回风技术夹层。风淋室：按规范要求，洁净房的风淋室设计双人，2个：

近年无尘室的发展迅速，随着我国现代工业的发展，产品制造过程中对生产环境的要求越来越高。许多电子生产厂家为保证其产品质量、延长产品的使用寿命都使用净化室车间进行生产工作，以涉及到应用电子、电器、机器、等相关行业中，等级从百级到千级不限。某电子净化车间装修工程项目，在历经连月来的施工，万级净化工程设计，目前工程已完工，该项目主要围绕中央空调系统，排进风系统，空气净化系统，氮气等系统，温湿度控制，彩钢板，传递窗，风淋室等安装项目。